本發明公開了一種以磷肥副產物氟硅酸鹽制備氣相法白炭黑和無水氫氟酸的方法，磷肥副產氟硅酸鹽在200~400℃下熱解制得四氟化硅，經過過濾器除去粉塵后，通過93～98%濃硫酸洗滌除去水分及雜質，在水解反應器中，四氟化硅與空氣、氫氣按體積比1∶2∶0.05～0.3的比例混合后;發生高溫水解反應經聚集、分離、除塵、冷凝、精餾分別得到氣相法白炭黑和無水氫氟酸，優點是具有工藝過程簡單，原料易得、原料利用率高、節能、環保、設備腐蝕輕，生產成本降低;而且生產得到的白炭黑產品純度高。